有特殊气味，在潮湿空气中逐渐混浊、静置后后析出硅酸沉淀。无水分存在时稳定，蒸馏时不分解。能与乙醇和乙醚混溶，微溶于苯，几乎不溶于水，但能逐渐被水分解成氧化硅。易燃。最小致死量(大鼠，吸入)0.1%/4日。高浓度时有麻醉性。有刺激性。
