有α-和β-两种晶体。溶于氢氟酸。不溶于水。为共价键化合物,结合非常稳定。在空气中被加热至1450~1550℃时仍稳定。强度高。硬度大。硅粉在氮气氛中于高温下制得。也可由卤化硅与氨气经二氧化碳气激光束照射,生成无定形氮化硅,再在1450℃电炉、氮气氛中加热制得高纯度氮化硅粉末。