硅单晶电阻率标准物质
【特征形态】固态
【介质基体】硅单晶材料
【定值日期】
【主要用途】校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
【保存条件】干净通风干燥的地方保存
【注意事项】使用时用镊子取出标准物质片，放置测量样片台上
【分析方法】
| 标准值 | 相对不确定度(%) | 单位 | |
| 电阻率标称值 | 1 | 1.5 | 电阻率标称值(・cm) |
| 径向不均匀度（％）（距边缘6mm以内） | 3 | 1.5 | 径向不均匀度(%) |
【特征形态】固态
【介质基体】硅单晶材料
【定值日期】
【主要用途】校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
【保存条件】干净通风干燥的地方保存
【注意事项】使用时用镊子取出标准物质片，放置测量样片台上
【分析方法】
| 标准值 | 相对不确定度(%) | 单位 | |
| 电阻率标称值 | 1 | 1.5 | 电阻率标称值(・cm) |
| 径向不均匀度（％）（距边缘6mm以内） | 3 | 1.5 | 径向不均匀度(%) |